Mikroskopi Elektron

Scanning Electron Microscope (SEM)

        Elektron mikroskop adalah salah satu jenis mikroskop yang berfungsi untuk melihat benda-benda yang kecil. Prinsip kerjanya sama dengan mikroskop optik dengan beberapa perbedaan yaitu:

a. Berkas sinar yang digunakan untuk melihat benda-benda kecil adalah elektron, bukan cahaya.

b. Resolusi minimum mikroskop elektron dapat mencapai 1,5 nm sedangkan resolusi

    minimum mikroskop optik adalah sekitar 100 nm.

c. Depth of field (DoF) yang lebih panjang. Ilustrasi pada Gambar 1 berikut ini

    menunjukkan perbedaan DoF mikroskop elektron jika dibandingkan dengan

    mikroskop Optik.

                                                                             (a)

(b)

(c)

Gambar 1.  Perbandingan Depth of Field (DOF) antara (a) Mikroskop Elektron dan (b) Mikroskop

Optik. Area yang berada di daerah DoF terlihat tajam sementara yang berada di luarnya

terlihat kabur.

Jika dilihat dari pembentukan citra/gambar dari obyek, mikroskop elektron dapat dipisahkan menjadi dua yaitu Scanning Electron Microscope (SEM) dan Transmission Electron Microscope (TEM). Pada SEM, citra spesimen dihasilkan sebagai akibat interaksi antara berkas elektron terfokus yang dipindaikan pada permukaan spesimen yang dianalisis. Sedangkan pada TEM, gambar dihasilkan oleh berkas elektron yang menembus spesimen yang dianalisis.